Представление о технике измерений и литографии на наномасштабе
Справочник «Handbook of Micriscopy for Nanotechnology » edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang (Kluwer Academic Publisher). Русский перевод книги «Справочник по микроскопии для нанотехнологии» (редакторы Нан Яо (Принстонский Университет) и Чжун Лин Ван (Технологический институт Джорджии, Атланта, Джорджия, США) сделан коллективом переводчиков под редакцией профессора И.В. Яминского. М.: Научный мир, 2011. 712 стр. , ISBN 978-5-91522-232-7.
Книга рассматривает современные методы микроскопии, дает представление о технике измерений и литографии на наномасштабе.
В первой части справочника рассматриваются оптическая микроскопия, сканирующая зондовая микроскопия, ионная микроскопия и нанопроизводство. Подробно разбирается конфокальная сканирующая оптическая микроскопия и нанотехнология, сканирующая оптическая микроскопия ближнего поля в нанонауке, сканирующая туннельная микроскопия, сканирующая зондовая микроскопии для манипулирования и создания структур на наномасштабе; разбирается сканирующая тепловая и термоэлектрическая микроскопия; дается представление о получении изображений методом масс-спектрометрии вторичных ионов; описывается атомно-зондовая томография, фокусированный ионный пучок, как многофункциональный инструмент в нанотехнологии; дается представление об электронно-лучевой литографии.
Вторая часть книги посвящена электронной микроскопии. В ней детально рассматривается электронная микроскопия высокого разрешения, количественный электронно-зондовый микроанализ высокого пространственного разрешения наноразмерных материалов; дается характеристика нанокристаллических материалов методом дифракции обратно рассеянных электронной в растровом электронном микроскопе; характеризуется просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения и сканирующая просвечивающая электронная микроскопия; дается представление об использовании электронной микроскопии для проведения наноизмерений; характеризуется электронная нанокристаллография и томография с использованием трасмиссионного электронного микроскопа.
В заключительных частях справочника рассматривается внеосевая электронная голография, спектроскопия характеристических потерь энергии электронами с субнанометровым разрешением; приводится визуализация магнитных структур с помощью ПЭМ.
Книга «Справочник по микроскопии для нанотехнологии» предназначена для научных работников, аспирантов и студентов, чья научная деятельность связана с нанотехнологией.