Фундаментальные основы анализа нанопленок. Терри Л. Алфорд, Леонард К.Фельдман, Джеймс В. Майер

Фундаментальные основы анализа нанопленок. Терри Л. Алфорд, Леонард К.Фельдман, Джеймс В. Майер

Обсуждаются проблемы фундаментальной физики, лежащие в основе методов, используемых при изучении поверхностей и приповерхностных слоев материалов, а также новые аналитические методики, основанные на явлениях взаимодействия частиц и излучения с веществом.
Разбираются основные понятия, единицы измерения при анализе приповерхностных слоев материалов; обсуждаются атомные столкновения и спектрометрия обратного рассеяния (кинематика упругих столкновений, спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния, поперечное сечение обратного рассеяния, рассеяние в центральном поле отклонения от законов резерфордовского рассеяния при низких и высоких энергиях частиц, спектроскопия атомов отдачи).
Рассматриваются получение распределений по глубине с помощью обратного рассеяния с использованием измерений потерь энергии легких ионов (общие закономерности и единицы измерения для потерь энергии); профили распыления и масс-спектроскопия вторичных ионов; каналирование ионов (определение расположения примесей в кристаллической решетке, распределение потока канализированных частиц, поверхностное взаимодействие в двухатомной модели, анализ тонких пленок); электрон-электронные взаимодействия и чувствительность анализа с помощью электронной спектроскопии к глубине.
Обсуждается дифракция рентгеновских лучей и электронов; поглощение фотонов в твердых телах и расширенная рентгеновская спектроскопия поглощения тонкой структуры;
Разбираются методы рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии; излучательные и безызлучательные переходы и Оже-электронная спектроскопия.
Отдельно рассматриваются ядерные методики - активационный анализ и мгновенный анализ наведенной радиоактивности; сканирующая зондовая (туннельная и атомно-силовая) микроскопия.
Предназначена для специалистов в области материаловедения использующих различные виды спектроскопии и спектрометрии при анализе материалов; будет интересна студентам старших курсов и аспирантам, изучающим новые аналитические методы.