АНАЛИТИЧЕСКАЯ ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИОМЕТРИЯ

АНАЛИТИЧЕСКАЯ ВТОРИЧНО-ЭЛЕКТРОННАЯ ЭМИССИОМЕТРИЯ. Томашпольский Ю.Я.

Сделана попытка обобщить многочисленные, но разрозненные теоретические и экспериментальные результаты, характеризующие аналитические достижения вторично-электронной эмиссиометрии.
Представлены основные теоретические представления о процессе вторичной электронной эмиссиометрии; описывается растровый электронный микроскоп как инструмент вторично-электронной эмиссиометрии; описываются аналитические применения вторично-электронной эмиссиометрии.
Представлен комплекс новых методов – аналитическая вторично-электронная эмиссиометрия на основе установленных в последнее время новых закономерностей выхода из вещества эмиссии вторичных электронов и модельных представлений, связывающих температурные, композиционные, токовые и полевые зависимости интенсивности эмиссии с химическим и фазовым составом, атомной и электронной структурой, фазовыми переходами и другими фундаментальными характеристиками.
Предназначено для широкого круга аналитиков, работающих над решением проблем локальной, высокочувствительной, неразрушающей качественной и количественной характеризации вещества, а также для специалистов в химии, физике, материаловедении, геологии, металлургии, микро- и наноэлектронике. Может быть полезной для студентов родственных специальностей и частично – для студентов колледжей радиотехнического направления.