закрыть
Предзаказ на книгу
Осталось всего: 1
993
р.
Купить
МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники. Мир материалов и технологий
Автор: Акчурин Р.Х., Мармалюк А.А.
ISBN: 978-5-94836-521-3
Год издания: 2020
Формат книги: 70х100/16
Кол-во страниц: 488
Издательство: Техносфера
Тип обложки: Переплёт
Вес: 789 гр.
Описание
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов.
Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэ- лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.
Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэ- лектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники.
Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Близкие по теме
-
Автор: Хосокава М., Ноги К., Наито М., Йокояма Т. (ред.)
Рубрика: Аналитическая химия
ISBN: 978-5-91522-231-0
Год издания: 2013
450 р.Купить -
Осталось всего: 2
Автор: Нан Яо, Чжун Лин Ван (ред.), Науч. ред. Яминский И.В.
Рубрика: Электроника. Квантовая электроника. Радиоэлектроника
ISBN: 978-5-91522-232-7
Год издания: 2011
550 р.Купить -
Автор: Туан Во-Дин (ред.)
Рубрика: Новые технологические материалы и технологии. Нанотехнологии
ISBN: 978-5-91522-228-0
Год издания: 2012
399 р.Купить -
Автор: Цао Гочжун, Ван Ин
Рубрика: Новые технологические материалы и технологии. Нанотехнологии
ISBN: 978-5-91522-224-2
Год издания: 2012
290 р.Купить -
Осталось всего: 1
Автор: Кавалейро А., Хоссон де Д. (ред.)
Рубрика: Новые технологические материалы и технологии. Нанотехнологии
ISBN: 978-5-94836-182-6
Год издания: 2011
976 р.Купить -
Осталось всего: 2
Автор: Гийо А., Мейе Ж.-А.
Рубрика: Научно-популярная литература. Великие открытия и изобретения
ISBN: 978-5-94836-356-1
Год издания: 2013
279 р.Купить